VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
epi-AlGaAs/AlGaAs H2SO4:H2O2:H2O 8:1:1 90 deg TOA
1
 
NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1
 
epi-AlGaAs/AlGaAs H2SO4:H2O2:H2O 8:1:1 90 deg TOA
2003
5
10
15
44
2
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
84
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
1979
0.104746
0.106466
107
0.106466
161
0.106457
30
0.106448
128
0.10644
174
0.106431
128
0.106422
215
0.106414
203
0.106405
193
0.106396
79
0.106387
0
0.106379
141
0.10637
80
0.106361
139
0.106353
104
0.106344
172
0.106335
152
0.106326
60
0.106318
150
0.106309
108
0.1063
77
0.106292
93
0.106283
133
0.106274
150
0.106265
143
0.106257
89
0.106248
174
0.106239
82
0.106231
80
0.106222
102
0.106213
88
0.106205
117
0.106196
98
0.106187
118
0.106179
68
0.10617
113
0.106161
177
0.106153
136
0.106144
100
0.106135
88
0.106126
172
0.106118
107
0.106109
79
0.1061
146
0.106092
158
0.106083
153
0.106074
158
0.106066
172
0.106057
176
0.106048
246
0.10604
197
0.106031
234
0.106022
134
0.106014
147
0.106005
154
0.105996
218
0.105988
205
0.105979
159
0.105971
191
0.105962
189
0.105953
209
0.105945
122
0.105936
57
0.105927
101
0.105919
202
0.10591
126
0.105901
212
0.105893
158
0.105884
151
0.105875
256
0.105867
130
0.105858
191
0.105849
153
0.105841
211
0.105832
196
0.105824
213
0.105815
138
0.105806
221
0.105798
200
0.105789
312
0.10578
248
0.105772
346
0.105763
434
0.105755
353
0.105746
509
0.105737
547
0.105729
656
0.10572
749
0.105712
809
0.105703
780
0.105694
868
0.105686
1122
0.105677
1098
0.105668
1104
0.10566
1176
0.105651
1231
0.105643
1320
0.105634
1399
0.105625
1451
0.105617
1577
0.105608
1763
0.1056
1820
0.105591
1979
0.105582
1962
0.105574
1931
0.105565
1824
0.105557
1587
0.105548
1252
0.105539
970
0.105531
711
0.105522
513
0.105514
380
0.105505
243
0.105497
263
0.105488
229
0.105479
173
0.105471
200
0.105462
212
0.105454
176
0.105445
135
0.105437
133
0.105428
177
0.105419
140
0.105411
124
0.105402
169
0.105394
181
0.105385
65
0.105377
132
0.105368
59
0.105359
161
0.105351
209
0.105342
29
0.105334
45
0.105325
235
0.105317
143
0.105308
119
0.1053
161
0.105291
26
0.105282
90
0.105274
61
0.105265
51
0.105257
10
0.105248
42
0.10524
37
0.105231
112
0.105223
138
0.105214
147
0.105206
118
0.105197
100
0.105188
72
0.10518
170
0.105171
106
0.105163
77
0.105154
197
0.105146
85
0.105137
108
0.105129
92
0.10512
172
0.105112
39
0.105103
144
0.105095
134
0.105086
106
0.105078
84
0.105069
91
0.105061
171
0.105052
121
0.105044
128
0.105035
185
0.105027
147
0.105018
152
0.10501
158
0.105001
110
0.104993
96
0.104984
137
0.104976
178
0.104967
211
0.104959
131
0.10495
53
0.104942
171
0.104933
174
0.104925
205
0.104916
215
0.104908
163
0.104899
160
0.104891
216
0.104882
290
0.104874
174
0.104865
259
0.104857
314
0.104848
254
0.10484
190
0.104831
141
0.104823
198
0.104814
220
0.104806
206
0.104797
216
0.104789
252
0.10478
285
0.104772
211
0.104763
245
0.104755
280
0.104746
end of experiment
